到達真空度が低い場合はポンプ能力不足や真空配管のリークや測定器の問題や吸排気口の汚れが原因として考えられます。
流量の大きなポンプの使用やリークの確認や測定器の確認や吸排気口と真空ラインの清掃を行ってください。


参照元：取扱説明書 2025年7月 第7版
［本FAQは、商品の取扱説明書をもとに生成AIで自動作成しています］
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