[2-752-21]マスフローコントローラーとの接続方法
堀場エステック
2-752-21 マスフローコントローラ用 電源一体型制御ユニット PE-D20
マスフローコントローラーとの接続方法・使用方法を教えてください。
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回答
下記のようにSECマスフローコントローラーと接続します。
制御ユニットから信号ケーブルを経由して
マスフローコントローラーに電源を供給します。
制御ユニットから出力信号やアラームを取り出すことができます。
この内容で解決できましたか？
