• 文字サイズ変更
  • S
  • M
  • L
  • No : 278104
  • 公開日時 : 2024/05/30 14:25
  • 印刷

[4-1319]仕様訂正

4-1319-05 単結晶SiCウェハ 4インチ・4H-N-DG
4-1319-06 単結晶SiCウェハ 4インチ・4H-半絶縁-PG
4-1319-07 単結晶SiCウェハ 4インチ・4H-半絶縁-DG
4-1319-08 単結晶SiCウェハ 4インチ・4H-N-ZMP
4-1319-10 単結晶SiCウェハ 6インチ・4H-N-DG
4-1319-11 単結晶SiCウェハ 6インチ・4H-N-ZMP

 

仕様訂正
カテゴリー : 

回答

総合2023 2356ページ
品番 4-1319-05/4-1319-08~4-1319-11
訂正前 オフ角度:(0001)面に対し4°OFF
その他:Si面:CMP仕上げ、C面:Polish仕上げ
訂正後 オフ角度:<11-20>面に対し4°OFF
その他:Si面:両面CMP仕上げ ※C面は削除
品番 4-1319-06/4-1319-07
訂正前 オフ角度:(0001)面に対し0°
訂正後 オフ角度:(0001)面に対し±0.5°

お詫びして訂正いたします。

この内容で解決できましたか?

よろしければご意見等お聞かせください! ※お問い合わせを入力されましてもご返信はいたしかねます