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  • No : 125115
  • 公開日時 : 2021/06/30 01:24
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[2-960]有機物除去目的の洗浄が実施されていますか?

商品名 品番
研究用高純度シリコンウェハー2-P-1 2-960-01
研究用高純度シリコンウェハー2-N-1 2-960-02
研究用高純度シリコンウェハー3-P-1 2-960-03
研究用高純度シリコンウェハー3-N-1 2-960-04
研究用高純度シリコンウェハー4-P-1 2-960-05
研究用高純度シリコンウェハー4-N-1 2-960-06
高純度シリコンウェハー4-P-LOW 2-960-07
高純度シリコンウェハー4-P-HIGH 2-960-08
研究用高純度シリコンウェハー 6XP型 2-960-09
研究用高純度シリコンウェハー 6XN型 2-960-10
研究用高純度シリコンウェハー3-P-25 2-960-53
研究用高純度シリコンウェハー3-N-25 2-960-54
研究用高純度シリコンウェハー4-P-25 2-960-55
研究用高純度シリコンウェハー4-N-25 2-960-56
研究用高純度シリコンウェハー5-P-25 2-960-57
研究用高純度シリコンウェハー5-N-25 2-960-58
研究用高純度シリコンウェハー6-P-25 2-960-59
研究用高純度シリコンウェハー6-N-25 2-960-60
高純度シリコンウェハー4-P-LOW2 2-960-61
高純度シリコンウェハー4-P-HIGH2 2-960-62
研究用高純度シリコンウェハー 2×P型 2-960-63
研究用高純度シリコンウェハー 2×N型 2-960-64
 
有機物除去目的の洗浄が実施されていますか?
カテゴリー : 

回答

2-960-**シリーズの全ての製品について、
一般的に有機物を除去すると言われているSC1洗浄が入っています。
但し、全て製品共にウェーハ表面の有機物の保証はしておりません。
洗浄後、搬送ケースに入れますが、この搬送ケース等からも微量な有機物が
脱ガスとしてウェーハ表面に付着する可能性があり、完全な有機物フリーとは
言えません。

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