本体ヒーター部、外部循環ノズルの材質がステンレスでできておりますので純水でのご使用は可能です。
但し、超純水のご使用はおすすめ致しません。

超純水には、ステンレスを腐食させる性質があります。超純水でご使用された場合、ステンレス製の
ヒーターや、その他部品が腐食し、故障の原因となります。