クリーンルームの清浄度規格については、旧規格:Fed.Std-209E(クラス100、クラス1000など)が 日本国内で広く知られていましたが、現在はISO14644-1が国際標準として使用されています。 ISO14644-1では、空気中の浮遊粒子数を基準にクリーンルームの清浄度を ISOクラス1〜9の9段階で分類しており、数字が小さいほど清浄度が高い環境を示します。