• No : 236166
  • 公開日時 : 2022/08/31 16:24
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[6-7987-04]耐熱温度を教えてください

6-7987-04 ウェハーキャリア（PFA）　8インチ　 KM-822-A1
 
耐熱温度を教えてください。
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回答

材質がPFAというフッ素樹脂なので、ウェハーカセットとしての推奨最高使用温度は約150℃です。