1-9197-01　ドライ真空ポンプ　ＤＡＰ－６Ｄ
1-9197-02　ドライ真空ポンプ　ＤＡＰ－１２Ｓ

クリーンな排気が可能ですが、特にメーカーとしてはクリーンルーム適合とは謳っていないそうです。
但し、クラス1,000?10,000程度のクリーンルームでの使用実績はあるそうです。