- No : 8848
- 公開日時 : 2015/07/28 11:53
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[1-9197]クリーンルーム内で使用可能でしょうか?
ドライ真空ポンプ DAP-6D(1-9197-01)
ドライ真空ポンプ DAP-12S(1-9197-02)
クリーンルーム内で使用可能でしょうか?
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回答
1-9197-01 ドライ真空ポンプ DAP-6D
1-9197-02 ドライ真空ポンプ DAP-12S
クリーンな排気が可能ですが、特にメーカーとしてはクリーンルーム適合とは謳っていないそうです。
但し、クラス1,000?10,000程度のクリーンルームでの使用実績はあるそうです。